团队具有较为完善的纳米材料分析检测平台
作者：李博士日期：2021-06-03浏览：993
导读：团队具有较为完善的纳米材料和抛光液的分析检测平台，可检测纳米材料粒径大小和分布、Zeta电位、金属元素含量和阴离子含量、pH值、粘度及密度等常规参数。
团队具有较为完善的纳米材料和抛光液的分析检测平台，可检测纳米材料粒径大小和分布、Zeta电位、金属元素含量和阴离子含量、pH值、粘度及密度等常规参数。
膜厚测试仪可以测量晶圆抛光前后薄膜厚度的大小和均匀性（可测量的最大尺寸为12英寸）；电化学分析仪和接触角仪主要用来进行抛光机理的研究，分析抛光过程中可能出现的化学反应和抛光液与各材料之间的润湿性；原子力显微镜可以检测抛光后表面粗糙度，也可以测试纳米材料的硬度。
主要设备如下：
激光粒度分析仪（NICOMP 380 ZLS）
大颗粒测试仪（AccuSizer 780）
电感耦合等离子体发射光谱仪（Vanan 710-ES）
阴离子色谱（DIONEX ICS-900）
原子力显微镜（Park XE-150）
总有机碳检测仪（multi N/C2100）
傅里叶红外光谱仪（Thermo Nicolet 6700）
热重分析仪（RZY-1）
金相显微镜（OLYMPUS MX61）
薄膜测厚仪（FILMETRICS F50-EXR）
电化学工作站（Autolab PGSTAT 302N）
接触角测量仪（Dataphysics OCA30）
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