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硅溶胶和cmp抛光液团队核心成员介绍

作者:李博士日期:2021-06-03浏览:344
导读:硅溶胶和cmp抛光液团队在宋志棠博士和刘卫丽博士的带领下,目前共有博士8名,高级职称7名,研发人员20多名。

硅溶胶和cmp抛光液团队领导人:宋志棠

宋志棠,上海新安纳电子科技有限公司(浙江新创纳电子科技有限公司)董事长,中科院特聘研究员,国家超级973、国家集成电路重大专项项目的首席科学家,第四批国家“万人计划”科技创业领军人才,上海市领军人才、国务院特殊津贴、跨世纪千百万人才国家级人选。

宋志棠

国内PCRAM材料与器件研究的开创者,研制出我国第一款PCM芯片,其1500万颗嵌入式芯片在国际首次应用,创立相变八面体基元理论,自主ScSbTe、TiSbTe材料与双沟道二极管等用于芯片。

带领团队建立起国内第一条自主的电子级二氧化硅纳米磨料生产线,研发出的电子二氧化硅纳米磨料和抛光液实现产业化,每年产出超亿元。

在Sciences、Nature comm等期刊发表511篇论文,他引4517次;国内外授权发明专利284项。“电子级二氧化硅纳米抛光新材料及工业化制备关键技术”2016年获上海市技术发明奖一等奖,“相变存储芯片制造核心技术及嵌入式应用”2018年获上海市科学技术发明奖二等奖,相变材料的研究获得2019年度中国材料研究学会科学技术一等奖。

主要奖励信息

(1) 中国材料研究学会科学技术奖,一等奖,2019
(2) 上海市技术发明奖,省级,二等奖,2018
(3) 中国新材料产业发展大会“新材料成果转化奖”
(4) 第20届中国工业国际博览会创新银奖
(5) 第五届“纳米之星”创新创业大赛一等奖等奖项
(6) 中国电子学会科学技术奖, 三等奖, 专项, 2017
(7) 上海市科学技术奖, 一等奖, 省级, 2016
(8) 中国材料研究学会贡献奖, 省级, 2016
(9) 中国科学院“朱李月华优秀教师”奖, 院级, 2013
(10) 中国科学院“朱李月华优秀教师”奖, 院级, 2013
(11) 中国科学院“朱李月华优秀教师”奖, 院级, 2013
(12) 国务院特殊津贴, , 国家级, 2009
(13) 上海市领军人才, , 省级, 2009
(14) 新世纪百千万人才工程国家级人选, , 国家级, 2009
(15) 中科院朱李月华优秀教师, , 研究所(学校), 2009
(16) 中科院院长特别奖导师, 特等奖, 研究所(学校), 2009
(17) 上海市纳米科技创新论坛“创新之星”银奖, 二等奖, 省级, 2008
(18) 上海市长宁区先进工作者, , 省级, 2007
(19) 上海市科技进步一等奖, 一等奖, 省级, 2006
(20) 上海市中长期科学发展规划纲要编制荣誉证书等称号与奖励, , 省级, 2006
(21) 上海市优秀学科带头人, , 省级, 2006
(22) 中科院研究生院优秀教师, , 研究所(学校), 2006
(23) 国家科技进步一等奖, 一等奖, 国家级, 2006
(24) 第五届中国国际发明展览会银奖, 二等奖, 国家级, 2004
(25) 上海新泰个人优秀奖, 特等奖, 省级, 2003
(26) 上海市科技启明星, , 省级, 1999
(27) 上海市优秀博士后, , 省级, 1999

主要科研项目

(1)45nm相变存储器工程化关键技术与应用, 主持, 国家级, 2009-01--2018-09
(2) 高密度交叉阵列结构的新型存储器件与集成, 主持, 国家级, 2017-06--2022-06
(3) 大容量三维相变存储器纳米存储阵列制备系统, 主持, 部委级, 2018-01--2019-12
(4) 上海市半导体存储器制备与测试专业技术服务平台, 主持, 省级, 2017-04--2020-03
(5) 相变存储器神经形态关键技术研究, 主持, 国家级, 2020-01--2023-12

硅溶胶和cmp抛光液团队核心成员:刘卫丽

刘卫丽,上海新安纳电子科技有限公司(浙江新创纳电子科技有限公司)总经理,中科院二级研究员,“国家万人”创新人才推进计划中青年创新领军人才,曾获上海市技术发明一等奖、中国科协杰出青年成果转化奖、国家科技进步一等奖等奖项和荣誉称号。

刘卫丽

是新安纳和新创纳两家公司的发起人之一,刘博士是国家“十一五”和“十二五”两项国家重大专项项目负责人和首席科学家,她带领团队建立了具有自主知识产权的电子级二氧化硅纳米磨料中试和生产线;开发了纳米材料生长新工艺,从原理和工艺上解决了纳米材料粒径不稳定的问题;开发了高效蓝宝石抛光液、金属抛光液、硅片抛光液、氧化硅抛光液、碳化硅抛光液(SiC)等。

先后发表SCI论文一百多篇,被引用1580余次。申请国内外发明专利98项,其中授权71项(2项为美国专利)。

主要奖励信息

(1) 相变存储芯片制造核心技术及嵌入式应用, 二等奖, 省级, 2019
(2) 八面体基元理论指导发现新型相变存储材料及其在128Mb储存芯片中的应用, 一等奖, 部委级, 2019
(3) 中国科协求是杰出青年成果转化奖, 部委级, 2017
(4) 上海市技术发明一等奖, 一等奖, 省级, 2016
(5) 上海市优秀技术带头人, , 省级, 2014
(6) 第四届上海市五一巾帼创新奖, , 省级, 2011
(7) 第六届“上海市巾帼创新提, , 其他, 2010
(8) 上海市科教系统三八红旗手, , 其他, 2009
(9) 第十届上海市杰出青年岗位, , 其他, 2009
(10) 上海市新长征突击手, , 其他, 2009
(11) 第二届“上海市科教党委系, , 其他, 2008
(12) 上海市青年科技启明星跟踪计划”, , 其他, 2007
(13) 上海市青年科技启明星计划, , 其他, 2004

主要科研项目

(1) 电子级纳米磨料产业化研究及其在IC抛光液中的应用, 主持, 国家级, 2009-01--2011-12
(2) 45-28nm集成电路用纳米磨料和相变材料抛光液的研究与产业化, 主持, 国家级, 2011-01--2013-12
(3) 面向LED蓝宝石衬底的抛光液与抛光工艺示范线, 主持, 省级, 2011-12--2014-09
(4) 上海市优秀技术带头人, 主持, 省级, 2014-07--2017-06
(5) 纳米电子材料产学研联合实验室能力提升, 主持, 省级, 2016-01--2017-12
(6) 电子级二氧化硅纳米材料制备新工艺开发及产品应用研究, 主持, 院级, 2015-06--2019-05
(7) 纳米二氧化硅材料快速生长装置的研制, 主持, 部委级, 2020-01--2021-12
(8) 碳化硅晶圆化学机械抛光液的摩擦磨损过程及机理研究, 主持, 市地级, 2020-05--2022-04

硅溶胶和cmp抛光液团队在宋志棠博士和刘卫丽博士的带领下,目前共有博士8名,高级职称7名,研发人员20多名。既有纳米材料制备领域的材料专家,也有来自于抛光液公司对于磨料的需求和技术发展具有深刻理解的人才,还有在集成电路半导体化学机械平坦化与抛光方面的微电子专家,以及在防火玻璃、无机涂料等领域的各类人才。

正是由于这些强有力的人才支撑保障,才使得我们团队在国内和国际上具有较强的竞争优势。我们队伍整体素质较高,有着良好的知识结构、年龄结构,富有激情和创新精神。

团队主要成员

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