信息功能材料国家重点实验室微结构表征平台

中科院上海微系统与信息技术研究所（原中国科学院上海冶金研究所）信息功能材料国家重点实验室，主要设备包括：

双球差校正透射电子显微镜（JEM-ARM300F）、三维原子探针（LEAP 5000 XR）、低温强磁场扫描近场微波阻抗显微谱仪（LTSIM-1）、聚焦离子束扫描电子显微镜系统（Helios Nanolab 600）、场发射透射电子显微镜（JEM-2100F）、场发射扫描电子显微镜（JSM-7800F & HITACHI-S4700）等设备。尤其双球差校正透射电子显微镜具有80pm的分辨率，三维原子探针能进行单原子与多原子的三维重构，可实现纳米尺度下观察原子像，分析原子成分与分布，分析各种化合物键态等功能。

场发射扫描电镜是纳米磨料粒径大小和分布的常规检测设备；聚焦离子束设备可以定位分析器件截面结构，是分析图形芯片抛光后表面缺陷的关键设备之一；双球差透射电镜具有极高的分辨率，可以分析纳米粒子表面结构以及被抛光物质在不同抛光液条件下形成的产物。